纳普森EC-80 非接触式涡流电阻率和方电阻手动测量仪

更新时间：2023-08-22

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EC-80
非接触式涡流电阻率和方电阻手动测量仪

非接触式

只需将样品插入探头之间即可测量的简单测量仪器

在电阻率和方块电阻测量模式之间轻松切换
通过 JOG 旋钮进行简单的测量条件设置

*由于探头为固定式，购买前请从多种探头中选择一种。

测量规格

测量对象

半导体及太阳能电池材料（硅、多晶硅、SiC等）
新材料/功能材料（碳纳米管、DLC、石墨烯、银纳米线等）
导电薄膜相关（金属、ITO等）
化合物半导体相关（GaAs Epi、GaN Epi、InP、Ga等）
其他（*请联系我们）

目标尺寸

约 8 英寸或约 156 x 156 毫米

测量范围

[电阻率] 1m 至 200Ω cm
（*所有探头类型的总范围/厚度为 500um 时）
[表面电阻] 10m 至 3kΩ/sq
（*所有探头类型的总范围）

*有关每种探头类型的测量范围，请参阅以下内容。
(1) 低：0.01～0.5Ω/□(0.001～0.05Ω·cm)
(2)中：0.5～10Ω/□(0.05～0.5Ω·cm)
(3)高：10～1,000Ω/□(0.5 ) ~60Ω·cm)
(4) S-高：1,000 至 3,000Ω/□ (60 至 200Ω·cm)

产品尺寸

W220×D325×H210mm
约6.5kg

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