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什么是四极杆分析？

更新时间：2023-09-14

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微极分析仪

MICROPOLE系统的特点是MICROPOLE分析仪（MPA），它使用超精密光学蚀刻技术和玻璃/金属粘合技术将九个四极杆组组合在一起。该MPA的开发产生了很小小小小的残余气体分析仪，其性能相当于或优于大型质谱仪。该分析仪为插入式单元型，只需安装已预先校准分压的传感器单元即可测量总压和分压的绝对值。

测量原理

RGA 由离子源、质谱仪和测量部分组成。残余气体通过与高温灯丝发射的热电子碰撞而电离，产生的离子被加速、聚焦并引导至质谱仪。在质谱仪中，通过向四个圆柱形电极（四极）施加直流和交流电压来筛选离子质量。分离出的离子在法拉第杯中被检测为电流，该离子电流与残留气体量（分压）成正比。