IR-300系列

气体浓度监测仪

用于鼓泡供应管线的在线气体浓度监测器。用于原料气体的稳定供应。

MOCVD（金属有机化学气相沉积）广泛应用于LED制造工艺和光学器件制造工艺中。该 MOCVD 设备采用液体/固体材料，通常使用鼓泡方法将其作为汽化气体输送到腔室。在该材料气体供应线路中，实时气体浓度监测对于实现稳定的薄膜沉积过程非常重要。气体浓度监测仪IR-300系列已安装在MOCVD设备的原料气供应线上，可实现在线高速气体浓度监测。支持原料气体的稳定供应。　

非色散红外吸收法（NDIR法）

非色散红外吸收法利用红外光源发出的红外光被气体分子吸收的现象。
IR-400 系列将具有待测气体吸收的样品输出与未经吸收的参考输出进行比较，并将其转换为气体浓度。通过采用这种双光束方法，可以实现长期稳定的测量。HORIBA在化合物半导体、汽车、物理和化学设备以及环境测量设备等广泛领域中使用这种气体分析方法有着良好的记录，并将该技术应用于IR-400系列。

光学系统由光源、气室和双光束探测器组成。
双光束 NDIR 方法是一种稳定的测量方法，拥有 40 多年的经验。

红外气体分析仪的类型

NDIR（非色散红外吸收法）

非色散红外线的缩写
使用滤光片选择波长进行测量
每个传感器测量 1-3 个组件
易于配置，适合小型化

FTIR（傅里叶变换红外光谱）

傅立叶变换红外的缩写
使用干涉光谱测量所有波长的光谱
配置复杂，设备庞大。
适用于测量多组分混合气体