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UGAPM系列—多达300台amu气体分析仪
UGAPM系列过程监控系统是为分析过程气体而设计的现代质谱仪。它们的工作压力从20托到1毫托。
入口以低流速(大约5x10-5毫巴升/秒)使该仪器非常适合在线分析.
UGAPM的应用包括CVD/PECVD/RIE/LPCVD/MOCVD、真空镀膜/等离子蚀刻、蒸发、溅射沉积、
真空热处理、目标老化、泄漏检测/虚拟泄漏/解吸、污染研究、小体积分析(0.1 mL范围)等。
这些分析仪也易于操作和维护。所有组件都可以通过前面板或远程计算机进行控制。在UGAPM系统
中，外径为1/16"或1/8"的不锈钢毛细管用于容纳半真空取样。利用这种配置，在处理室和分析器之间
几乎没有死体积。
操作原理
UGAPM系统使用单级毛细管减压入口从1毫托到20托对气体进行采样。在压力降低到大约10-6托气流
被送至质谱仪(残余气体分析仪RGA ),该质谱仪测量每种目标质量的浓度。
UGAPM Windows软件为复杂的绘图和数据分析提供了一个图形用户界面。该软件还允许远程控制系
统的阀门、加热器和泵。
多毛细管入口
可选的多入口阀有两种可能的配置。一种是多通道配置，它可以在不同的地方应用于特定的样品压力。
另一种是多量程配置，可适用于各种不同的样品压力范围。
更新时间：2023-10-30 
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