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【最的适的合曝光装置的温度管理】Apiste精密空调机PAU系列
【最的适的合曝光装置的温度管理】Apiste精密空调机PAU系列
只需连接就能简单地实现精密空调。自由调温包围的空间的Apiste的精密空调机PAU系列
[最的适的合曝光装置的温度管理]精密空调机PAU系列
在曝光装置中,为了抑制光掩模的膨胀和收缩,
你需要供应冷风,以稳定温度。
PAU机组可实现要求温度、湿度、清洁度的空气。
进行局部空间的空调的“PAU系列"包括:
与整体空调相比,可以抑制能量消耗,更不用说高精度的温度管理,
即使对于困难的湿度,也可以根据需要进行从低湿环境到潮湿环境的精密控制。
此外,通过与风扇过滤器单元的组合,可以轻松实现广泛的清洁度管理。