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更新时间：2023-12-21 
浏览次数：198住友的臭氧发生器采用板放电方式，利用电能将部分原料气体转化为臭氧。
采用高纯度陶瓷放电表面来产生清洁的臭氧气体，最大限度地减少颗粒和金属污染的产生。作为排放方式，我们实现了业界领的先的臭氧浓度400g/m 3 (N)。
此外，我们还使用我们独的特的技术来处理无氮臭氧发生器，以防止金属污染。
被众多客户在半导体、液晶等制造过程中的干法和湿法工艺中使用，并获得了好评。
半导体
各种晶圆
FPD（LTPS、HTPS、TFT、彩色滤光片、OLED）
光罩
引的领
其他电子器件材料的干法和湿法工艺
这是一个标准系列，最大浓度为400g/m 3 (N)。
| 规格 | |
|---|---|
| 臭氧流量 | 1L/min～24L/min [210g/m 3 (N)] |
| 臭氧供给压力 | 最大0.2MPa |
| 冷却水温度 | 20℃±2℃ |
| 氮添加率 | 氧气流量的0.1% |
| 外形尺寸 | 宽483毫米×深453毫米×高266毫米 |
| 重量 | 30～45公斤 |
| 电源 | AC200V 3相 |
| 特征 |
|---|
| 产生400g/m 3 (N)的高浓度臭氧 |
| 可安装在19英寸机架上的单元类型 |
| 从小流量到大流量的丰富产品阵容 |
| 高可靠性放电电池，耐压高，寿命长 |
| 快速上升和出色的浓度响应 |
| 通过连接臭氧浓度计（反馈控制）实现优异的浓度稳定性 |
| CE/NRTL认证，符合SEMI标准 |
| 燃气管道可选用氟树脂和SUS钢。 |
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