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更新时间：2023-12-22 
浏览次数：247结合了GRC/GRP/GRF系列并配备了外围设备的系列。
可以进行广泛的定制来满足您的需求。
| 设备实例1《高浓度多气体供给臭氧发生器SGRP-03JS》 | |
|---|---|
| 臭氧浓度 | 350克/立方米（牛） |
| 臭氧流量 | 15L/min《5L/min×3线》 |
| 冷却水温度 | 20℃±2℃ |
| 外形尺寸 | 宽570mm×深850mm×高1,870mm |
| 重量 | 360公斤 |
| 电源 | AC200V 3相 |
| 设备实例2《无氮高浓度臭氧发生器SGRF-03JA》 | |
|---|---|
| 臭氧浓度 | 400克/立方米（牛） |
| 臭氧流量 | 20升/分钟 |
| 冷却水温度 | 5℃ |
| 外形尺寸 | 宽570mm×深850mm×高1,836mm |
| 重量 | 350公斤 |
| 电源 | AC200V 3相 |
| 特征 |
|---|
| 配备GRC/GRP/GRF系列，可根据客户需求定制大流量、多供气等。 |
| 内置臭氧浓度计，实现优异的浓度稳定性（反馈控制） |
| CE/NRTL认证，符合SEMI标准 |
| 燃气管道可选用氟树脂和SUS钢。 |
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