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更新时间：2024-08-08 
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无图案300mm晶圆表面检测系统
WM-10R是300mm晶圆的标准型号
是48nm的高灵敏度检测系统。
WM - 10R is a standard model of 300 mm wafer.It is a high sensitivity inspection system of 48 nm.
200mm以下无图案晶圆表面检测系统
WM-7系列是200毫米晶圆尺寸以下最的合理的高性能型号。
WM - 7 series is the most reasonable high - performance model below 200 mm wafer size.
WM-10R 有 2 轴粒子入射角。
WM 系列有 2 个宽数值孔径镜头，用于高灵敏度检测。
WM系列是带转速控制的螺旋扫描方式。
XY-数据发送到 EB 审查设备，然后可以通过轻松对齐进行审查。
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