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otsukael分光椭偏仪 旋转分析器 膜厚计 紫外光谱仪

otsukael分光椭偏仪 旋转分析器 膜厚计FE-5000/5000S的介绍

除了可以进行高精度薄膜分析的分光椭圆偏光法外，它还通过实现自动可变测量角度机构来兼容所有类型的薄膜。除了传统的旋转分析器方法外，还通过为延迟板提供自动安装/拆卸机构提高了测量精度。

  • 产品型号：FE-5000/5000S
  • 厂商性质：经销商
  • 更新时间：2023-04-14
  • 访  问  量：785
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otsukael分光椭偏仪 旋转分析器 膜厚计FE-5000/5000S的介绍

otsukael分光椭偏仪 旋转分析器 膜厚计FE-5000/5000S的介绍



除了可以进行高精度薄膜分析的分光椭圆偏光法外，它还通过实现自动可变测量角度机构来兼容所有类型的薄膜。除了传统的旋转分析器方法外，还通过为延迟板提供自动安装/拆卸机构提高了测量精度。



特征

  • 可在紫外-可见（300 至 800 nm）波长范围内测量椭圆参数

  • 能够分析纳米级多层薄膜的膜厚

  • 通过 400 通道或更多通道的多通道光谱快速测量椭圆光谱

  • 支持通过可变反射角测量对薄膜进行详细分析

  • 通过创建光学常数数据库和添加配方注册功能提高可操作性

 

测量项目

  • 椭圆参数（tanψ，cosΔ）测量

  • 光学常数（n：折射率，k：消光系数）分析

  • 膜厚分析

 

测量对象

  • 半導体ウェーハ
    ゲート酸化薄膜，窒化膜
    SiO2，SixOy，SiN，SiON，SiNx，Al2O3，SiNxOy，poly-Si，ZnSe， BPSG，TiN
    レジストの光学定数(波長分散)

  • 化合物半導体
    AlxGa(1-x)As 多層膜，アモルファスシリコン

  • FPD
    配向膜

  • 各種新素材
    DLC(Diamond Like Carbon)，超伝導用薄膜，磁気ヘッド薄膜

  • 光学薄膜
    TiO2，SiO2，反射防止膜

  • リソグラフィー分野
    g線(436nm)，h線(405nm)，i線(365nm)などの各波長におけるn，k評価


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